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    石墨烯生长炉(PECVD)

    发布时间:2018-11-26点击:896

  • 石墨烯生长炉(PECVD)
  •   石墨烯生长炉(PECVD)产品说明:

      石墨烯生长炉由BLMT-GT管式炉+真空系统+供气系统+水冷系统组成,可以是单温区、双温区、三温区等,在真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

      管式炉采用掺钼合金加热丝为加热元件,采用双层壳体结构和宇电控温仪表,能进行30段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料,具有温场均衡、表面温度低、节能等优点。

      软件控制系统:该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。

      一:基本参数:

      1:加热炉部分

      2:炉膛模式开启式炉膛

      3:显示模式触摸屏

      4:温度1400℃

      5:工作温度≤1350℃

      6:升温速率建议10℃/Min Max:30℃/Min

      7:预热温区长度150mm

      8:主温区长度300mm

      9:预热温区移动手动移动

      10:主温区移动自动移动,速度可以设定

      二:设备特点:

      1:设备规格2000*85*1400mm(长*宽*高)

      2:炉管长度2000mm

      3:控温精度±1℃

      4:密封方式快速法兰密封

      5:温度曲线30段"时间—温度曲线"任意可设

      6:预存曲线可预存15条温度曲线

      7:超温报警有

      8:过流保护有

      9:断偶提示有

      10:测温元件s型热电偶

      11:炉膛材料氧化铝纤维

      12:射频电源功率

      13:信号频率13.56 MHz±0.005%

      14:功率输出范围5W-500W

      15:功率稳定度±0.1%

      16:谐波分量≤-50dbc

      17:供电电压单相交流(187V-253V)频率50/60HZ

      18:整机效率>=70%

      19:功率因素>=90%

      20:冷却方式强制风冷

      真空部分

      1:工作电电压220V±10%50~60HZ

      2:功率500瓦

      3:抽气速率4L\s

      4:进气口口径KF25

      5:排气口口径KF25

      6:转速1450rpm

      7:噪音55dB

      9:真空4X10-2Pa

      气路系统

      1,2,3,4气路采用DB07系列

      准确度:±1.5%

      重复精度:±0.2%

      响应时间:气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

      工作压差范围:0.1~0.5 MPa

      整机系统特色

      正压测量-100Kpa---100Kpa

      真空测量-100Kpa

      超压保护超压保护值可以设定

      压力恒定恒定压力值可以设定

      智能气路气路系统可以编程

      气路定时通气时间可以设定

      射频工作时间设定辉光放电时间可以设定,自动关机

      移动速度调节移动速度可以设定

      系统真空度5Pa

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